半導(dǎo)體行業(yè)加熱爐安裝及使用方便；溫度均勻，節(jié)能高效；全套設(shè)備具有防爆功能，使用安全可靠；工控自動化程度高；

（1）開啟式臥式結(jié)構(gòu)，方便安裝與檢修；

（2）六溫區(qū)加熱，每個溫區(qū)可單獨(dú)控溫，確保爐內(nèi)整體溫度的均勻性;

（3）發(fā)熱區(qū)直徑740，兩端口徑630mm。中間大,兩端小的結(jié)構(gòu)有利爐內(nèi)熱量儲集，升溫速度快；配合石英發(fā)熱器均勻分布爐壁，比鑲嵌式電阻絲發(fā)熱的結(jié)構(gòu).在同等功率下可節(jié)能 20%以上；

（4）熱解爐采用絕緣石英發(fā)熱器為發(fā)熱元件， 可有效防止金屬爐管及金屬氧化塵屑導(dǎo)致的隱患；確保生產(chǎn)安全和操作人員安全及設(shè)備本身的使用壽命；并具有良好的防爆功能；

（5）控制系統(tǒng)采用防爆控制機(jī)柜，大面積鋁板及柜外散熱片+防爆風(fēng)扇；

（6）每臺智能溫度控制儀表具有通訊功能，轉(zhuǎn)換 PN 接口可與現(xiàn)場整套工控系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng)，可在本地和遠(yuǎn)程控制操作；

半導(dǎo)體行業(yè)加熱爐參數(shù)：

溫度范圍：300 ~ 1000℃；

內(nèi)腔尺寸：直徑 630*長 550MM；

發(fā)熱區(qū)域：直徑 740*長 450MM；

顯示精度：1℃；

發(fā)熱溫區(qū)：六溫區(qū)；

整機(jī)功率：6.2KW*6=37.2KW；

電源電壓：380V/50Hz；

防爆溫度控制系統(tǒng)：

溫度測量：K 分度鎳鉻--鎳硅熱電偶六支；

控制系統(tǒng)：帶通訊全自動可編程儀表六套，PID 調(diào)節(jié)，顯示精度 1℃；

環(huán)境溫控：帶通訊全自動可編程儀表，傳感器，連接柜外散熱片+風(fēng)扇；

成套電器：采用品牌接觸器，固態(tài)繼電器；六套；

時 間 制：可設(shè)定升溫時間，恒溫時間控制，恒溫時間到達(dá)，自動停機(jī)；

超溫保護(hù)：內(nèi)置式二級超溫保護(hù)裝置，雙重保險；

運(yùn)行方式：全量程可調(diào)節(jié)恒溫，恒定運(yùn)行；程序運(yùn)行；

外形尺寸：約厚 600*寬 500*高 900MM；

智能溫度控制儀表具有通訊功能，轉(zhuǎn)換 PN 接口可與現(xiàn)場整套工控系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng)，可在本地和遠(yuǎn)程控制；